美國Malema 流量控制器LFC-7002-21321-212-M16

LFC-7000系列高性能閉環流量控制器設計用于各種液體，包括去離子水，苛刻的化學品，和CMP拋光漿料。

用于高精度控制超純化學品的典型模塊將Malema超聲波流量計與Malema控制閥結合在一起，其精度額定讀數為 +/- 1%。超聲波流量計有一個沒有移動部件或密封全PFA結構。它為流量測量的準確性，可重復性和純度設定了標準。其數字信號處理技術確保可靠的性能，即使在一定程度的氣泡存在于過程流體。高速/精密電機驅動夾管閥 (用于漿料) 或隔膜閥 (用于化學品) 有助于提供快速和精確的響應，并具有最小的 “過沖”。它的所有PTFE (聚四氟乙烯) 結構和最小的死體積確保最大的過程純度和可靠性 (化學模塊)。